一种石墨盘检测装置，其特征在于，所述装置包括：
拍摄模块， 用于拍摄石墨盘的表面，得到所述石墨盘的表面图像；
第一判断模块， 用于根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在破
损；
第二判断模块， 用于当所述石墨盘的表面不存在破损时，根据所述石墨盘的表面图像
判断所述石墨盘的表面是否存在色差；
扫描模块， 用于当所述石墨盘的表面不存在色差时，对所述石墨盘进行超声波扫描，得

到所述石墨盘的反射率；
分类模块， 用于根据所述石墨盘的反射率对所述石墨盘进行分类，同一外延生长设备
采用同一类所述石墨盘进行外延生长。
7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述拍摄模块， 用于将所述石墨盘的表面
分为多个区域；依次拍摄所述石墨盘的表面的多个区域，得到多张所述石墨盘的表面图像。
8.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述第一判断模块， 用于显示所述石墨盘
的表面图像；接收人工操作指令，所述人工操作指令用于指示所述石墨盘的表面是否存在
破损；或者，将所述石墨盘的表面图像输入预定的分类器，根据所述分类器的结果确定所述
石墨盘的表面是否存在破损。
9.根据权利要求6-8任一项所述的装置，其特征在于，所述第二判断模块， 用于将所述
石墨盘的表面图像分为多个区域；计算每个区域的平均灰阶值； 计算任意两个相邻区域的
平均灰阶值的差值；当存在任意两个相邻区域的平均灰阶值的差值大于阈值时， 确定所述
石墨盘的表面存在色差。
10.根据权利要求6-8任一项所述的装置， 其特征在于， 所述扫描模块， 用于发射超声
波；接收经过所述石墨盘反射回的超声波；根据发射的超声波的强度和反射回的超声波的
强度，确定所述石墨盘的反射率