1 .一种石墨盘检测方法，其特征在于，所述方法包括：
拍摄石墨盘的表面，得到所述石墨盘的表面图像；
根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在破损；
当所述石墨盘的表面不存在破损时，根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表
面是否存在色差；
当所述石墨盘的表面不存在色差时，对所述石墨盘进行超声波扫描，得到所述石墨盘
的反射率；
根据所述石墨盘的反射率对所述石墨盘进行分类，同一外延生长设备采用同一类所述
石墨盘进行外延生长。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述拍摄石墨盘的表面，得到所述石墨盘
的表面图像，包括：
将所述石墨盘的表面分为多个区域；
依次拍摄所述石墨盘的表面的多个区域，得到多张所述石墨盘的表面图像。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述石墨盘的表面图像判断所述
石墨盘的表面是否存在破损，包括：
显示所述石墨盘的表面图像； 接收人工操作指令，所述人工操作指令用于指示所述石
墨盘的表面是否存在破损；
或者，所述根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在破损，包括：
将所述石墨盘的表面图像输入预定的分类器，根据所述分类器的结果确定所述石墨盘
的表面是否存在破损。
4.根据权利要求1-3任一项所述的方法，其特征在于，所述根据所述石墨盘的表面图像
判断所述石墨盘的表面是否存在色差，包括：
将所述石墨盘的表面图像分为多个区域；
计算每个区域的平均灰阶值；
计算任意两个相邻区域的平均灰阶值的差值；
当存在任意两个相邻区域的平均灰阶值的差值大于阈值时，确定所述石墨盘的表面存
在色差。
5.根据权利要求1-3任一项所述的方法，其特征在于，所述对所述石墨盘进行超声波扫
描，得到所述石墨盘的反射率，包括：
发射超声波；
接收经过所述石墨盘反射回的超声波；
根据发射的超声波的强度和反射回的超声波的强度，确定所述石墨盘的反射率